示意图能力说明
能做什么，边界在哪
用于 PECVD 工序前后的自动上下料，替代人工搬运载具。设备需与镀膜设备对接，接口形式、载具规格与安全互锁在方案阶段与客户及设备方共同确认。
工序对接
按镀膜设备接口形式设计上下料动作。
载具适配
按载具规格配置夹持与定位结构。
安全互锁
与主机台设置信号互锁，避免误动作。
参数说明
- 对接设备
- 按现场 PECVD 机型确认
- 载具规格
- 按客户载具确认
- 节拍
- 与主机台节拍匹配
- 洁净要求
- 按车间规范配置
- 控制方式
- PLC + 人机界面
- 联机接口
- 支持与主机台信号对接
表格中的参数范围以工艺确认与样本验证结果为准。
